Il-metodu tal-fażi tal-gass tal-istivar fiżiku huwa l-metodu mainstream għall-preparazzjoni tal-kisi tal-PVD, inkluż kisi tal-vakwu, sputtering tal-manjetron u plating tal-joni tal-ark, fosthom, meta l-kisi tal-joni jintuża biex iħejji kisi PVD, ir-rata ta 'jonizzazzjoni hija għolja, ir-rata ta' akkumulazzjoni hija mgħaġġla, u għandha l-vantaġġi ta 'enerġija kbira ta' joni inċidentali, u kwalità tajba tal-kisi. Madankollu, dan il-kisi PVD għandu tniġġis kbir ta 'partikuli, li jwassal għal problemi bħal dehra ta' kisi mhux maħduma, żieda ta 'porożità, u funzjoni ta' kisi instabbli, li taffettwa l-użu tal-klijenti. Hawn kif ittejjeb il-kisi tal-PVD ma 'partiċelli kbar.
1. L-Introduzzjoni ta 'Elementi tad-Dinja Rari
L-introduzzjoni ta 'elementi rari fil-miri tal-katodi u l-kisjiet tal-PVD biex tnaqqas il-partiċelli tal-plating tal-joni u ttejjeb id-densità fina tal-kisi, u biex ittejjeb il-proprjetajiet fiżiċi u mekkaniċi u l-proprjetajiet ta' temperatura għolja tal-kisi permezz tal-mekkaniżmu rari ta 'modifika tad-dinja, l-effett huwa ovvju. Rari Earth CE għandu effett ovvju fuq it-tnaqqis tal-qtar, u l-kisi tal-PVD modifikat minn Dinja Rari mhux biss għandu densità żgħira ta 'qtar, iżda għandu wkoll inqas qtar kbar. Ir-raġuni għat-titjib tal-kundizzjoni tal-partiċelli tal-kisi tad-Dinja Rari għandha tkun relatata direttament mal-kwalità metallurġika tal-miri ta 'progress rari tad-Dinja.
Elementi rari tad-dinja użati b'mod wiesa 'huma l-proċess metallurġiku ta' CE għal tneħħija, desulfurizzazzjoni u witening ta 'kwalitajiet ta' materjali tal-metall. Il-kwalità u l-funzjonalità metallurġika tal-materjal jistgħu jitqajmu billi jiġu introdotti l-element dilwit adattat għall-għan. Ftit pori, kompożizzjoni omoġenja, u ħbub fini tal-materjal fil-mira ta 'kwalità għolja jgħinu biex jirfinaw il-partiċelli prodotti mill-katodu. Jista 'jbaxxi l-possibbiltà ta' frammentazzjoni ta 'materjal u tixrid fir-reġjun tal-pixxina tal-mikromelt fuq il-post tal-katodu li jirriżulta mill-pressjoni għolja prodotta mill-espansjoni f'daqqa tal-gass fil-pori magħluqa f'temperatura għolja. Billi tevita jew itaffi l-kollass u l-flyaway ta 'materjali marbuta b'mod dgħajjef li jirriżultaw minn kampi elettriċi parzjali jew stress termoelastiku, l-arranġament fil-mira jista' jgħin biex jitbaxxa l-ġenerazzjoni ta 'partiċelli kbar. Minbarra CE, elementi tad-dinja rari bħal Y jew LA għandhom influwenza komparabbli.
2. Is-sistema elettromanjetika l-ġdida
Din il-ħila kienet ikkunsidrata mid-disinn ta 'miri tal-katodi mtejba u ottika tal-plażma. L-idea hi li tiddisinja struttura ta 'kamp manjetiku ġdid ġewwa u barra l-mira, inkluża kolja elettromanjetika speċjali u kalamita permanenti bi struttura speċifika, sabiex tifforma sistema ta' kamp manjetiku arched fuq il-mira tal-katodu, sabiex tikkontrolla u tirregola l-korsa tal-ġiri tal-post tal-katodu tal-ark, tħaffef il-veloċità tal-moviment tagħha, u tnaqqas il-ħin tar-residenza fuq il-post fil-wiċċ.
3. Żid baffle mal-apparat
L-analiżi tiżvela li d-distribuzzjoni predominanti tal-partiċelli l-kbar hija fir-reġjun f'angolu ta '60 grad mal-wiċċ tal-mira tal-ark; Allura, baffle jista 'jitqiegħed quddiem il-mira tal-ark biex tbaxxi l-livell ta' tniġġis tas-saff tal-film tal-partikuli kbar. Filwaqt li d-daqs ta 'partiċelli kbar kien iżgħar minn 2 μm, id-densità ta' partiċelli kbar niżlet minn 2.3 x 105 / mm2 għal 1.4 x 103 / mm2 mingħajr baffle ma nbidilx sostanzjalment. Iżda ladarba l-baffle jiddaħħal fis-seħħ, l-iskop tal-kisi tal-PVD ibati minbarra li jitbaxxa r-rata ta 'akkumulazzjoni.
4. Ħiliet tal-katodu vojta
Fil-kisi PVD tal-plating tal-ark tal-ark, ir-raġġ tal-elettroni li joħroġ mill-katodu vojt huwa introdott biex inaqqas id-daqs tal-partiċelli kbar tal-kisi ppreparat, iżda dan il-metodu jirrikjedi ż-żieda ta 'apparat tal-katodu vojt fit-tagħmir konvenzjonali tal-plating tal-joni.
5. Filtru manjetiku tal-ark
Il-metodu ta 'l-introduzzjoni tal-plażma fil-kamra tal-akkumulazzjoni billi tuża l-filtru manjetiku tal-ark biex tissepara l-partiċelli kbar mill-plażma kisbet effett tajjeb, iżda r-rata ta' akkumulazzjoni ta 'dan il-metodu hija ħafna inqas minn dik tal-kisi tal-ark ordinarju.
Hawn fuq huwa l-introduzzjoni tal-metodu biex titjieb il-partiċelli kbar tal-kisi tal-PVD, fil-preparazzjoni tal-kisi tal-PVD, tista 'tirreferi għall-ħames metodi ta' hawn fuq biex tiżgura li l-istruttura tal-wiċċ tal-kisi hija tajba, il-porożità hija baxxa, u l-proprjetajiet huma stabbli, sabiex l-effett tal-użu tal-kisi se jkun aħjar.