Fil-proċess modern tal-manifattura tas-semikondutturi, ir-robots tal-wejfer, bħala wieħed mit-tagħmir ewlieni, għandhom rwol vitali. Ir-robots tal-wejfers jintużaw prinċipalment għall-immaniġġjar, l-għażla u l-ipproċessar tal-wejfers, u l-eżattezza u l-effiċjenza tagħhom jaffettwaw direttament l-effiċjenza ġenerali u r-rendiment tal-produzzjoni tas-semikondutturi. L-istruttura u l-prinċipju tax-xogħol tar-robot tal-wejfer huma kif ġej:
Struttura
1.Driegħ robotiku: Id-driegħ robotiku tar-robots tal-wejfer huwa ġeneralment iddisinjat b'assi multipli biex jinkisbu gradi għoljin ta 'libertà ta' moviment. Tipi komuni ta 'armi robotiċi jinkludu SCARA u robots Kartesjani.
2. Effettur tat-tarf: Din hija l-parti li tikkuntattja direttament u taqbad il-wejfer, ġeneralment iddisinjata bħala tazza tal-ġbid tal-vakwu jew tagħmir mekkaniku biex tiżgura li l-wejfer ikun stabbli u mhux imħassar waqt l-immaniġġjar.
3. Sistema ta 'kontroll tal-moviment: inkluż mutur servo u drive, li tintuża biex tikkontrolla l-moviment tad-driegħ robotiku biex tiżgura pożizzjonament preċiż u tħaddim bla xkiel.
4. Sensor: użat biex jikxef il-pożizzjoni, id-daqs u l-istatus tal-wejfer, tipi ta 'sensuri komuni jinkludu sensuri fotoelettriċi u sensuri tal-lejżer.
5. Sistema ta 'kontroll: inkluż kontrollur u softwer għall-ipprogrammar u l-kontroll tat-tħaddim tar-robot. Is-sistemi ta' kontroll spiss jintegraw algoritmi avvanzati biex jippermettu l-aħjar ippjanar tal-mogħdija u l-korrezzjoni tal-iżbalji.
Kif taħdem
1.Inizjalizzazzjoni u pożizzjonament: Ir-robot jiddetermina l-pożizzjoni tiegħu nnifsu u l-wejfer fil-mira permezz ta 'sensors. Is-sistema ta 'kontroll inizjalizza l-pożizzjoni tad-driegħ robotiku u tippreparaha biex twettaq il-kompitu tal-immaniġġjar.
2. Aqbad il-wejfer: Skont l-istruzzjonijiet tas-sistema ta 'kontroll, id-driegħ robotiku jimxi lejn il-pożizzjoni fejn tinsab il-wejfer. L-effector tat-tarf jaqbad il-wejfer permezz ta 'ġbid ta' vakwu jew gripper mekkaniku biex jiżgura li l-wejfer ikun stabbli u mhux bil-ħsara.
3. Immaniġġjar tal-wejfer: Id-driegħ robotiku jittrasporta l-wejfer lejn il-post fil-mira tul mogħdija predeterminata. Matul dan il-proċess, is-sistema ta 'kontroll tal-moviment tiżgura li d-driegħ robotiku jiċċaqlaq bla xkiel u li l-wejfer ma jkunx soġġett għal xokk jew vibrazzjoni.
4. Tqegħid tal-wejfer: Id-driegħ robotiku se jqiegħed il-wejfer b'mod preċiż fil-pożizzjoni fil-mira, u l-effettur tat-tarf se jħoll il-wejfer biex itemm il-kompitu tal-immaniġġjar.
5. Erġa 'lura għall-pożizzjoni inizjali: Id-driegħ robotiku jerġa' lura għall-pożizzjoni inizjali u huwa lest biex iwettaq il-kompitu ta 'immaniġġjar li jmiss.
Bħala konklużjoni, ir-robots tal-wejfer għandhom rwol vitali fil-manifattura tas-semikondutturi, u l-preċiżjoni u l-effiċjenza għolja tagħhom jagħmluhom tagħmir indispensabbli fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.
